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東(dong)京精(jing)密E-TS-1070B 精(jing)度演算誤差方式介紹

１．在G1?G2接觸子間(jian)放入微(wei)動臺。

２．先(xian)移動G1接觸子、控制部指(zhi)示値為行程(cheng)量的一半(ban)時，（－210～－220μｍ）固(gu)定接(jie)觸子。

３．然后移動G2接觸子、控(kong)制部指示値為０μｍ時固定(ding)接觸子。

４．微動(dong)臺朝返回方向(xiang)返(fan)回100μｍ(－100μｍ)、確認控(kong)制部(bu) 指(zhi)示値。

５．微動(dong)臺至進給原(yuan)位置(zhi)（零位置(zhi)）、確(que)認(ren)控制部 指示値為0μm〔注１〕。

６．微動(dong)臺在進給方向(xiang)進給100μm(＋100μm)、確(que)認控(kong)制部指示値。

 ７．微動臺回(hui)到原位(wei)置(zhi)（零位(wei)置(zhi)）、確(que)認控制部(bu)指示(shi)値為0μm〔注１〕。

８．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値不超過1.5μm。

 ９．0μm→－100μm的(de)指示値(zhi)與0μm→＋100μm的指(zhi)示値的差超過1.5μm時需(xu)再調整、重復(fu)[１．]～[８．]的作業。不超過時進(jin)行(xing)接下來的檢查(cha)。

〔注１〕 微(wei)動臺在原位置（零位置）時(shi)、控(kong)制部指(zhi)示(shi)値不為0μm時、需調整接觸(chu)子重復〔４．〕～〔６．〕的作(zuo)業。

　※ 為減少(shao)演算誤差需進(jin)行絞合線單(dan)體感度測量（別紙）。