激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)品牌(pai)，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)報(bao)價，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)原理，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)運用，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)試測，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)廠家，激光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)具有測量(liang)精度(du)(du)高(gao)、測量(liang)范圍(wei)大(da)、測量(liang)速度(du)(du)快、高(gao)測速下(xia)分辨率高(gao)等優點，結合不同的光學鏡組(zu)，可實(shi)現線性測長(chang)、角度(du)(du)、直線度(du)(du)、垂(chui)直度(du)(du)、平(ping)行度(du)(du)、平(ping)面(mian)度(du)(du)等幾(ji)何參量(liang)的高(gao)精度(du)(du)測量(liang)。

激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組(zu)件(jian)(jian)，可根(gen)據具體(ti)測量需求而選擇不同的組(zu)件(jian)(jian)。主要(yao)鏡組(zu)如(ru)下圖所列，依(yi)次為線性(xing)鏡(jing)組(zu)、角度(du)鏡(jing)組(zu)、直線度(du)鏡(jing)組(zu)、垂直度(du)鏡(jing)組(zu)、平面度(du)鏡(jing)組(zu)、自動精密(mi)轉臺。其(qi)中，線性鏡組為標配，由(you)線性(xing)(xing)干涉鏡、線性(xing)(xing)反射鏡和(he)夾緊孔座構成。可滿足(zu)線性(xing)(xing)位(wei)移(yi)設備的定(ding)位(wei)精(jing)(jing)度(du)、重復定(ding)位(wei)精(jing)(jing)度(du)、反向間隙的測量與分析，以(yi)及反向間隙修正和(he)螺距補償。